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這款PELCO®凹坑儀是南灣科技D500i凹坑儀的改進(jìn)版,是一種精密的機(jī)電金相研磨儀器。它可不斷的監(jiān)視和控制凹陷參數(shù),并且在達(dá)到預(yù)先設(shè)置的樣品厚度時(shí)準(zhǔn)確地終止研磨。這種機(jī)電一體化技術(shù)的上乘實(shí)現(xiàn)了造坑過程的自動(dòng)化,使得造坑減薄的過程變得可重復(fù)而可靠。
PELCO凹坑儀的**度為±1μm,造坑面積大,機(jī)械損傷小??蓪?duì)多種不同的材料進(jìn)行造坑減薄,如硅、鎵砷化合物、鍺、藍(lán)寶石、氧化物、碳化物、硼化物、硅化物、玻璃、多相材料、Ⅲ-Ⅴ半導(dǎo)體、鋁合金、陶瓷、碳和碳復(fù)合物。
Z偏移量 |
**度: |
1 micron |
|
范圍: |
2000 microns |
Z終止**度 |
工具1i / 3i: |
<±1 micron |
|
工具2i / 4i: |
<±2 microns |
工具壓力 |
范圍: |
1 - 200 grams |
|
|
1 grams 步進(jìn) |
平衡 |
靈敏度: |
1 grams |
|
范圍: |
50 grams |
工具速度 |
100 - 600 RPM |
|
樣品壓盤轉(zhuǎn)速 |
10 RPM |
|
工具傳動(dòng)軸 |
0.5微米TIR |
|
|
工具1i / 3i: |
<±1 micron TIR |
|
工具2i / 4i: |
<±2 microns TIR |
壓盤表面 |
<0.5 micron TIR |
|
外形尺寸 |
長(zhǎng)度: |
68.6cm |
|
寬度: |
35.6cm |
|
高度: |
33cm |
|
重量: |
32kg |
電源 |
通用交流電:85~264 VAC,47~63 Hz |
產(chǎn)品編號(hào) |
描述 |
84000 |
PELCO ® TEM精密凹坑儀 |
83050 |
PELCO ®視頻對(duì)齊工具 |
83031 |
用于TEM的3mm樣品的標(biāo)準(zhǔn)工具組 |
83032 |
可調(diào)節(jié)壓板組 |
83001 |
藍(lán)寶石樣品座 |
