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108 manual是一款結構緊湊的桌上型鍍膜系統(tǒng),特別適用于掃描電鏡成像中非導電樣品高質量鍍膜。
主要特性
l 通過高效低壓直流磁控頭進行冷態(tài)精細的噴鍍過程,避免樣品表面受損。
l 操作容易快捷,控制的參數(shù)包括放氣以及氬氣換氣控制。
l 可用MTM-10高分辨膜厚控制儀(選件)**測定所鍍膜的厚度。
l 數(shù)字化的噴鍍電流控制不受樣品室內氬氣壓力影響,可得到一致的鍍膜速率和*佳的鍍膜效果。
可使用多種金屬靶材:Au, Au/Pd,,Pt,,Pt/Pd(Au靶為標配),靶材更換快速方便。
技術參數(shù)
濺射系統(tǒng) |
|
樣品室大小 |
直徑120mm x 120mm 高 (4.75 x 4.75") |
靶材 |
Au 靶為標配, Au:Pd, Pt, Pt:Pd (選件);大?。褐睆?/span>57mm x 0.1mm厚 |
樣品臺 |
可以裝載12個SEM樣品座,高度可調范圍為60mm |
濺射控制 |
微處理器控制,**互鎖,可調,*大電流40mA,程序化數(shù)字控制 |
濺射頭 |
低電壓平面磁控管,靶材更換快速,環(huán)繞暗區(qū)護罩 |
模擬計量 |
真空: Atm - 0.001mbar |
厚度監(jiān)控 |
使用MTM-10高分辨厚度監(jiān)控儀(選件)**測定所鍍膜的厚度 |
控制方法 |
手動氣體換氣和泄氣功能,帶有“暫?!笨刂频臄?shù)字定時器(5-300s),手動放氣 |
真空系統(tǒng) |
|
真空泵 |
2級直連式高速真空泵 |
抽氣速率 |
3.0 m3/小時 ,真空度到 0.1mb所需時間30秒. |
桌上系統(tǒng) |
真空泵可置于抗震臺上,全金屬集成耦合系統(tǒng) |
