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108 Auto/SE是一款結(jié)構(gòu)緊湊的桌上小型離子濺射儀,特別適用于掃描電鏡成像中非導(dǎo)電樣品高質(zhì)量鍍膜,是108auto的大樣品室型號(hào),樣品室直徑為直徑150mm x 165mm。更大的樣品室可同時(shí)對(duì)更多樣品進(jìn)行噴鍍,相比108auto的磁場(chǎng)更強(qiáng),沉積速度相對(duì)較快。
主要特性
一、自動(dòng)的換氣與泄氣功能,可以得到一致的膜厚,和*佳的導(dǎo)電噴鍍效果。
二、通過高效低壓直流磁控頭進(jìn)行冷態(tài)精細(xì)的噴鍍過程,避免樣品表面受損。
三、操作容易快捷,可全自動(dòng)或手動(dòng)進(jìn)行噴鍍操作,控制的參數(shù)包括自動(dòng)放氣以及氬氣換氣控制。
四、在自動(dòng)模式下,可通過兩種方式進(jìn)行控制鍍膜過程。可通過數(shù)字顯示器控制得到可重現(xiàn)的噴鍍效果,
五、通過使用高分辨膜厚控制儀(選件)在達(dá)到設(shè)定膜厚時(shí)停止噴鍍過程。
六、數(shù)字化的噴鍍電流控制不受樣品室內(nèi)氬氣壓力影響,可得到一致的鍍膜速率和*佳的鍍膜效果。
可使用多種金屬靶材:Au, Au/Pd,,Pt,,Pt/Pd(Au靶為標(biāo)配),靶材更換快速方便。
技術(shù)參數(shù)
濺射系統(tǒng) |
|
樣品室大小 |
直徑150mm x 165mm 高 高度可調(diào):165mm-250mm |
靶材 |
Au 靶為標(biāo)配, Au:Pd, Pt, Pt:Pd (選件);大?。褐睆?/span>57mm x 0.1mm厚 |
樣品臺(tái) |
可以裝載12個(gè)SEM樣品座,高度可調(diào)范圍為60mm |
濺射控制 |
微處理器控制,**互鎖,可調(diào),*大電流40mA,程序化數(shù)字控制 |
濺射頭 |
低電壓平面磁控管,靶材更換快速,環(huán)繞暗區(qū)護(hù)罩,具有濺射擋板保護(hù)濺射頭 |
模擬計(jì)量 |
真空: Atm - 0.001mbar,電流:0-50mA |
厚度監(jiān)控 |
使用高分辨厚度控制儀(選件)可自動(dòng)終止濺射過程。 |
控制方法 |
自動(dòng)氣體換氣和泄氣功能,自動(dòng)處理排序,帶有“暫?!笨刂频臄?shù)字定時(shí)器(0-300s),自動(dòng)放氣 |
真空系統(tǒng) |
|
真空泵 |
2級(jí)直連式高速真空泵 |
抽氣速率 |
160L/MIN |
噪音 |
≤56dB |
極限真空 |
5 x 10-4mbar |
