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產(chǎn)品中心
產(chǎn)品詳情

  • 產(chǎn)品名稱：小型離子濺射儀108 AutoSE

  • 產(chǎn)品型號(hào)：
  • 產(chǎn)品廠商：Ted pella
  • 產(chǎn)品文檔：
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簡(jiǎn)單介紹：
小型離子濺射儀108 AutoSE
詳情介紹：

108 Auto/SE是一款結(jié)構(gòu)緊湊的桌上小型離子濺射儀，特別適用于掃描電鏡成像中非導(dǎo)電樣品高質(zhì)量鍍膜，是108auto的大樣品室型號(hào)，樣品室直徑為直徑150mm x 165mm。更大的樣品室可同時(shí)對(duì)更多樣品進(jìn)行噴鍍，相比108auto的磁場(chǎng)更強(qiáng)，沉積速度相對(duì)較快。

主要特性

一、自動(dòng)的換氣與泄氣功能，可以得到一致的膜厚，和*佳的導(dǎo)電噴鍍效果。

二、通過高效低壓直流磁控頭進(jìn)行冷態(tài)精細(xì)的噴鍍過程，避免樣品表面受損。

三、操作容易快捷，可全自動(dòng)或手動(dòng)進(jìn)行噴鍍操作，控制的參數(shù)包括自動(dòng)放氣以及氬氣換氣控制。

四、在自動(dòng)模式下，可通過兩種方式進(jìn)行控制鍍膜過程。可通過數(shù)字顯示器控制得到可重現(xiàn)的噴鍍效果，

五、通過使用高分辨膜厚控制儀（選件）在達(dá)到設(shè)定膜厚時(shí)停止噴鍍過程。

六、數(shù)字化的噴鍍電流控制不受樣品室內(nèi)氬氣壓力影響，可得到一致的鍍膜速率和*佳的鍍膜效果。

可使用多種金屬靶材：Au， Au/Pd,，Pt,，Pt/Pd（Au靶為標(biāo)配），靶材更換快速方便。

 

 

技術(shù)參數(shù)

 

濺射系統(tǒng)

樣品室大小

直徑150mm x 165mm   高

高度可調(diào)：165mm-250mm

靶材

Au 靶為標(biāo)配， Au:Pd,   Pt, Pt:Pd （選件）;大?。褐睆?/span>57mm x 0.1mm厚

樣品臺(tái)

可以裝載12個(gè)SEM樣品座，高度可調(diào)范圍為60mm

濺射控制

微處理器控制，**互鎖，可調(diào)，*大電流40mA，程序化數(shù)字控制

濺射頭

低電壓平面磁控管，靶材更換快速，環(huán)繞暗區(qū)護(hù)罩，具有濺射擋板保護(hù)濺射頭

模擬計(jì)量

真空： Atm - 0.001mbar，電流：0-50mA

厚度監(jiān)控
  (選件)

使用高分辨厚度控制儀（選件）可自動(dòng)終止濺射過程。

控制方法

自動(dòng)氣體換氣和泄氣功能，自動(dòng)處理排序，帶有“暫?！笨刂频臄?shù)字定時(shí)器（0－300s），自動(dòng)放氣

真空系統(tǒng)

真空泵

2級(jí)直連式高速真空泵

抽氣速率

160L/MIN

噪音

≤56dB

極限真空

5 x 10-4mbar

 

 

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