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108 Auto/SE是一款結(jié)構(gòu)緊湊的桌上小型離子濺射儀，特別適用于掃描電鏡成像中非導電樣品高質(zhì)量鍍膜，是108auto的大樣品室型號，樣品室直徑為直徑150mm x 165mm。更大的樣品室可同時對更多樣品進行噴鍍，相比108auto的磁場更強，沉積速度相對較快。
主要特性
一、自動的換氣與泄氣功能，可以得到一致的膜厚，和*佳的導電噴鍍效果。
二、通過高效低壓直流磁控頭進行冷態(tài)精細的噴鍍過程，避免樣品表面受損。
三、操作容易快捷，可全自動或手動進行噴鍍操作，控制的參數(shù)包括自動放氣以及氬氣換氣控制。
四、在自動模式下，可通過兩種方式進行控制鍍膜過程。可通過數(shù)字顯示器控制得到可重現(xiàn)的噴鍍效果，
五、通過使用高分辨膜厚控制儀（選件）在達到設定膜厚時停止噴鍍過程。
六、數(shù)字化的噴鍍電流控制不受樣品室內(nèi)氬氣壓力影響，可得到一致的鍍膜速率和*佳的鍍膜效果。
可使用多種金屬靶材：Au， Au/Pd,，Pt,，Pt/Pd（Au靶為標配），靶材更換快速方便。
技術參數(shù)
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濺射系統(tǒng) |
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樣品室大小 |
直徑150mm x 165mm 高 高度可調(diào)：165mm-250mm |
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靶材 |
Au 靶為標配， Au:Pd, Pt, Pt:Pd （選件）;大?。褐睆?/span>57mm x 0.1mm厚 |
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樣品臺 |
可以裝載12個SEM樣品座，高度可調(diào)范圍為60mm |
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濺射控制 |
微處理器控制，**互鎖，可調(diào)，*大電流40mA，程序化數(shù)字控制 |
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濺射頭 |
低電壓平面磁控管，靶材更換快速，環(huán)繞暗區(qū)護罩，具有濺射擋板保護濺射頭 |
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模擬計量 |
真空： Atm - 0.001mbar，電流：0-50mA |
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厚度監(jiān)控 |
使用高分辨厚度控制儀（選件）可自動終止濺射過程。 |
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控制方法 |
自動氣體換氣和泄氣功能，自動處理排序，帶有“暫?！笨刂频臄?shù)字定時器（0－300s），自動放氣 |
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真空系統(tǒng) |
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真空泵 |
2級直連式高速真空泵 |
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抽氣速率 |
160L/MIN |
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噪音 |
≤56dB |
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極限真空 |
5 x 10-4mbar |
